電子励起脱離法(ESD)は固体表面に電子線を照射したときに脱離する粒子の質量数,速度,角度分布などの分析から表面に何が,どのように吸着しているかを探る方法である。飛行時間型のESD観測装置(TOF-ESD)を開発し,脱離イオンの運動エネルギー分布について詳しく調べた。まず,Ni(110)表面に吸着したCOからのO+の脱離が励起エネルギーに強く依存することを述べ,その運動エネルギー分布から脱離の機構を考察した。また分子軌道計算法を用いて励起状態のポテンシャルカーブをシミュレートし,実験結果と比較した。