(株)東芝研究開発センター
1995 年 16 巻 1 号 p. 51-59
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薄膜の研究および応用分野において近年注目された材料や技術,すなわちメモリー用酸化物誘電体薄膜,酸化物超伝導薄膜,薄膜トランジスタや太陽電池用アモルファスシリコン薄膜,ダイヤモンド薄膜,そして単原子層レベルで制御しようとする薄膜技術の今後の中核となるべき単原子層成長や選択成長について解説する。
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