表面科学
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Si表面でのO2分子線散乱で生成脱離するSiOの振動回転分布
中村 一隆北島 正弘
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1995 年 16 巻 9 号 p. 583-586

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抄録

Rovibrational state distributions of SiO desorbed from a Si(111) surface during O2 molecular beam scattering at 1250±50K are studied using resonance enhanced multiphoton ionization mass spectroscopy. Results show that the vibrational temperature is comparable with the surface temperature but the rotational temperature is lower than that.

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© 社団法人 日本表面科学会
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