酸化物強誘電体薄膜とデバイス応用

抄録

D-Eヒステリシス,大きい誘電率,顕著な圧電効果,焦電効果,電気光学効果を有する強誘電体の薄膜化法を概説するとともに,DRAM,不揮発性メモリ素子,低駆動電圧薄膜EL素子,Siモノリシック超音波センサ,焦電形赤外線FET,赤外線撮像素子,光変調素子,光スウィッチ,光偏向素子,マイクロモータ,光駆動マイクロカンチレバーなどの薄膜を用いた機能性電子デバイスの例について紹介する。