近接場光学顕微鏡でどこまで高分解能像が得られるか?(2)

抄録

前回は近接場光学顕微鏡の原理と構成を中心に述べた。今回は具体的な画像計測の例を提示する。システム関数推定結果より,0.8nmの分解能が得られたこと,さらに原理的には原子レベルの分解能が期待できることを示す。特に生体試料,フォトニクス用材料,素子の測定評価を中心に記し,空気中,水中,極低温中など,特殊環境下での測定が可能であることを示す。さらに形状計測のみでなく,分光計測が可能であることを示す。