表面科学
Online ISSN : 1881-4743
Print ISSN : 0388-5321
走査型電気力顕微鏡
高分解能電気物性情報を得るためのノウハウ
井上 貴仁
著者情報
ジャーナル フリー

1997 年 18 巻 4 号 p. 247-250

詳細
抄録

In the last decade, a number of electrostatic force microscopes (EFMs), which are based on the conventional non-contact scanning force microscope (SFM), have been developed to observe isolated surface-charges, dielectric constants of insulating films and surface potentials at the nanometer scale. Here, we describe the methods we have employed to obtain high-resolution electrical information using an EFM.

著者関連情報
© 社団法人 日本表面科学会
前の記事
feedback
Top