表面科学
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MBE 830S装置 (日電アネルバ社製) について
村上 俊一石田 哲夫林 義孝
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1982 年 3 巻 3 号 p. 125-127

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抄録

The MBE apparatus has progressed rapidly in the last two years, leading to the appearance of high performance device based on the MBE method. The recently developed MBE apparatus is described and, also, the history and the futuretrends of such systems.

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