真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
解説
二次イオン質量分析を用いた酸化亜鉛薄膜のキャラクタリゼーション
羽田 肇坂口 勲齋藤 紀子大橋 直樹菱田 俊一
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50 巻 (2007) 2 号 p. 123-127

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© 2007 日本真空協会
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