真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
金属シリサイドの形成技術と評価
大泊 巌, 須黒 恭一
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22 巻 (1979) 12 号 p. 411-428

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.22.411
[Correction] SHINKU Vol.23 No.3 (1980) pp.147a-147a
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