真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
RF反応性スパッタリングによるZnO薄膜の成長 (II)
清水 安元, 伊ケ崎 泰宏, 島岡 五朗
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26 巻 (1983) 5 号 p. 423-427

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.26.423
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