真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
JIPPT-IIUのECR放電洗浄実験
石部 行雄, 石井 成行, 岡崎 清比古, 大山 等, 坂本 雄一, 矢野 勝喜, 野崎 正, 荒谷 美智, 林 茂樹, 矢野倉 実, 河野 功, 野田 信明, 東井 和夫, 棚橋 秀伍, 赤石 憲也, 大久保 邦三
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27 巻 (1984) 5 号 p. 376-379

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.27.376
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