真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
JT-60その場コーティング技術の検討 (IV)
チタン蒸発源の試作
稲川 幸之助, 阿部 哲也, 広木 成治, 小原 建治郎, 中村 和幸, 村上 義夫
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27 巻 (1984) 5 号 p. 389-393

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.27.389
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