真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
種々の気体に対する複合分子ポンプの排気特性
井口 昌司, 金戸 成, 橋本 祥一, 原口 孝之, 丸山 隆志, 及川 永, 池上 達治
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28 巻 (1985) 5 号 p. 251-254

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.28.251
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