真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
IBS法によるZnO薄膜の作製
鈴木 義彦, 四谷 任, 小川 倉一, 岩田 章, 東海 正國, 嵩 良徳
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30 巻 (1987) 5 号 p. 508-511

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.30.508
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