真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
圧力測定・気体流量測定 [III]
4. レーザーによる粒子計測 5:スピニング・ローター・ゲージによる真空計の感度校正
清水 肇, 高橋 主人
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31 巻 (1988) 4 号 p. 286-294

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.31.286
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