真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
金属ターゲットを用いた反応性rfマグネトロンスパッタリングによるAlドープZnO薄膜の作製
井上 尚実, 伊ヶ崎 泰宏, 久保山 治
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32 巻 (1989) 3 号 p. 251-254

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.32.251
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