真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
低エネルギーイオンビームを用いた金属窒化物の形成
鷹野 一朗, 磯部 昭二
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34 巻 (1991) 10 号 p. 745-751

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.34.745
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