真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
固体潤滑AG (Axial gap) ステッピングータの超高真空性能
武松 忠, 浅石 隆, 小池 土志夫, 山川 洋幸
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34 巻 (1991) 3 号 p. 318-321

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.34.318
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