真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
クライオポンプの到達圧力付近における水素排気特性
黒川 裕次郎竹内 協子辻 泰降矢 新治森本 秀敏
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35 巻 (1992) 3 号 p. 102-105

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