真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
全金属製極高真空クライオポンプの動作特性
八木 信昭, 粟飯原 大, 津久井 克幸, 大泊 巌
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35 巻 (1992) 3 号 p. 106-109

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.35.106
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