真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
マグネトロンスパッタリングによる炭素過剰TiCx膜の合成と構造評価
西村 興男, 矢部 勝昌
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35 巻 (1992) 3 号 p. 224-227

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.35.224
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