真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
反応性RFマグネトロンスパッタ法により作製したCr-N薄膜のRFパワー依存性
吉竹 正明, 野坂 俊紀, 岡本 昭夫, 小川 倉一, 田中 啓詞, 月出 修
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35 巻 (1992) 3 号 p. 252-255

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.35.252
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