真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
放射線照射下におけるターボ分子ポンプの耐久性試験
成島 勝也, 白石 成之, 琴浦 貞行, 曽我美 晋
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35 巻 (1992) 7 号 p. 646-648

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.35.646
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