真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
酸素イオン照射により成膜したYBCO薄膜の組成に関する基板温度依存性
中曽根 正美, 野間 正男, 小川 倉一, 四谷 任, 鈴木 義彦
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36 巻 (1993) 3 号 p. 285-288

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.36.285
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