真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
円筒型マグネトロンスパッタイオンポンプによる極高真空の生成
徐 旻生, 高橋 直樹, 小宮 宗治
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38 巻 (1995) 3 号 p. 271-273

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.38.271
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