真空
Online ISSN : 1880-9413
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シリコン結晶中の成長時導入欠陥の巨視的分布の発生
棚橋 克人井上 直久溝川 悠介
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1998 年 41 巻 3 号 p. 104-107

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抄録
Radial distribution of oxidation-induced stacking faults (OSF) and cavities and its dependence on growth rate are discussed. The nonequilibrium incorporation of oxygen and vacancy, consumption of vacancies by cavities formation and oxide precipitates nucleation enhancement by vacancies are considered to discuss them.
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