真空
Online ISSN : 1880-9413
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GaAsの分子線成長における二次元成長・三次元成長転移の走査電子顕微鏡その場観察
棚橋 克人河村 裕一井上 直久本間 芳和
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1998 年 41 巻 3 号 p. 108-110

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抄録
Surface roughening processes in the molecular beam epitaxy growth of GaAs are studied by in-situ scanning electron microscopy. Three types of onset of three dimensional growth, pure 3D growth, coexistence of 3D and 2D growth, and 2D to 3D transition are observed.
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