真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
60MHzの高周波を用いたマグネトロンスパッタにおけるプラズマ及び成膜特性
佐藤 誠長浜 華子林 利彦渡辺 栄作中川 行人スニル ウィクラマナヤカ長谷川 晋也水野 茂
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2002 年 45 巻 9 号 p. 693-698

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