真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
アーク放電蒸着法による酸化亜鉛薄膜の物性制御
山本 哲也酒見 俊之粟井 清白方 祥
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47 巻 (2004) 10 号 p. 742-747

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