Journal of the Vacuum Society of Japan
Online ISSN : 1882-4749
Print ISSN : 1882-2398
ISSN-L : 1882-2398
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ターボ分子ポンプの仕組みと選定について
廣瀬 均
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2015 年 58 巻 12 号 p. 446-450

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© 2015 一般社団法人日本真空学会
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