光学式圧力計の開発と低真空における性能評価

抄録

気体の屈折率は圧力に比例する。屈折率は、気体の種類がわかっている場合には、真空とガス中の光の波長から求められる。本研究では、気体の屈折率計を利用した光学式圧力計を開発した。気体には窒素を、光源には波長約633 nm の外部共振型半導体レーザを利用した。光学式圧力計と校正された圧力計を10 kPa から100 kPa の圧力範囲で比較した結果、圧力計の校正の不確かさの範囲内で計測値が一致した。