日本表面真空学会学術講演会要旨集
Online ISSN : 2434-8589
2020年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 1Ca05
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11月19日
飛躍的な発展を遂げるSIMS法の展望 有機・生体高分子分野への新展開
*松尾 二郎
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抄録

物質にイオンを衝突させると表面から2次イオンを質量分析する手法をSIMSと呼び、表面を高感度に分析する手法として活用されてきた。講演では、近年のSIMS技術の飛躍的発展を支えるイオンビームや先端質量分析法を紹介し、今後取り組むべき技術課題や本技術の持つ将来展望について議論したい。

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© 2020 日本表面真空学会学術講演会
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