主催: 日本表面真空学会
京都大学大学院工学研究科附属量子理工学教育研究センター
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物質にイオンを衝突させると表面から2次イオンを質量分析する手法をSIMSと呼び、表面を高感度に分析する手法として活用されてきた。講演では、近年のSIMS技術の飛躍的発展を支えるイオンビームや先端質量分析法を紹介し、今後取り組むべき技術課題や本技術の持つ将来展望について議論したい。
表面科学講演大会講演要旨集
表面科学学術講演会要旨集
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