電子顕微鏡によるミクロン/ナノスケール３次元計測の進展

抄録

透過電子顕微鏡は高い空間分解能で物質を観察できる計測装置であるが、透過電子を用いた結像を行う関係上、基本的には対象物の２次元投影情報を得ることになる。本講演では、透過電子を用いた３次元構造観察手法の高精度化の達成とさらなる発展に向けた最近の取り組みについて紹介する。