Sol-gel / PLD複合プロセスにおける PZT薄膜のin situ成長とその微細組織

平成１６年度春季全国大会

セッションID: 113

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主催: 社団法人　溶接学会

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キーワード: PZT薄膜, Sol-gel 法, PLD法, 微細組織, 電気的特性

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抄録

本研究では，ゾルーゲル法により一層のPZTをコーティングしたPt/Ti/SiO2/Si基板を500℃程度に加熱し，その上に PLD法でPZT薄膜を作製し，in situ成長したPZT薄膜の結晶構造と微細組織，電気的特性等を調べた．