Sol-gel / PLD複合プロセスで作製したPZT薄膜の微細組織に及ぼすZr/Ti組成の影響

平成１６年度春季全国大会

セッションID: 114

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主催: 社団法人　溶接学会

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キーワード: PZT薄膜, Sol-gel 法, PLD法, 微細組織, 電気的特性

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抄録

本研究では，Zr/Ti組成を変化させたPZT焼結体をターゲットとしてSol-gel / PLD複合プロセスでPt/Ti/SiO2/Si基板上にPZT薄膜を作製し，薄膜の微細組織とZr/Ti組成との関連について調べた．