溶接学会全国大会講演概要
平成17年度秋季全国大会
セッションID: 110
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マイクロ波照射によるPZT薄膜の作製プロセスの低温化
*戸田 甫王 占杰粉川 博之滝沢 博胤
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抄録

本研究では,ゾルーゲル法によりコーティングしたPZT薄膜をマイクロ波照射で結晶化させ、薄膜の結晶構造、微細組織および電気的特性を調べ、PZT薄膜の作製プロセスの低温化について検討した。

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© 2005 社団法人 溶接学会
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