MOD法で作製したLaNiO3薄膜の微細組織と電気的特性

抄録

LaNiO3薄膜は良好な熱安定性や導電性があるので、PZT薄膜の下部電極への応用として期待される。本研究では，MOD (Metallo-organic Decomposition) 法でSiO2/Si基板上にLaNiO3薄膜を作製し、その結晶構造と微細組織および電気的特性を調べた。