Sol-gel法によるLNO/SiO2/Si基板上へのPZT薄膜の作製

平成１７年度秋季全国大会

セッションID: 112

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主催: 社団法人　溶接学会

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キーワード: Sol-gel 法, MOD 法, 微細組織, 電気的特性

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抄録

本研究では、sol-gel法によりLNO/SiO2/Si基板上にPZT薄膜を作製し、その結晶構造、微細組織および電気的特性を調べ、下部電極としてLNOがPt/Tiに代替可能かどうかを検討した