溶接学会全国大会講演概要
平成17年度秋季全国大会
セッションID: 114
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熱プラズマアシストMOCVDによるZnO薄膜の高速合成
*安藤 康高戸部 省吾田原 弘一
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抄録

酸化物セラミックス薄膜の高速合成法の開発を目的として、熱プラズマアシストMOCVD法によるZnO薄膜の形成を試みた。開放大気下で成膜した結果、酸素供給源を設けなくとも結晶性の良いZnO薄膜を形成することができた。また成膜速度4μm/minの高速成膜が可能であることもわかった

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© 2005 社団法人 溶接学会
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