Hollow Cathode Arcにおけるプラズマ形成ガスの影響

抄録

本研究では，低圧環境下でのHollow Cathode Arc(HCA)に関する基礎的研究として，HCAにおけるプラズマ形成ガスの影響についての検討を行った．具体的には，数種のプラズマ形成ガスを用いて，各種実験を行い放電特性・プラズマ特性等を調査し，HCAにおけるプラズマ形成ガスの影響を検討した．