太径ワイヤによる超音波配線接合プロセスのその場観察

抄録

超音波配線接合における凝着機構に対する正確な理解は、超音波接合プロセスの最適な設計や制御に不可欠な指針である。本研究では、ワイヤの変形挙動や接触摺動面積の変化を高速度ビデオカメラや位置センサを用いて高時間分解能計測・その場観察し、それに基づいて凝着機構を検討する。