酸化インジウムスズのレーザー誘起熱転写

抄録

ダイヤモンドライクカーボンを用いる新手法であるレーザー誘起熱転写法によって、酸化インジウムスズ(ITO: Indium tin oxide)薄膜のパターニングを行い、最小で線幅10 umのITO細線の転写を達成した。また本手法で転写されたITOは低抵抗率化していることがわかった。