マイクロ放電に関する研究

抄録

サブミリサイズの精密溶接を電子ビームやレーザではなく、簡便な大気圧放電によって行うニーズが大きい。プラズマビームの電流経路を制限する新たな絶縁ノズルとアーク領域だけではなく，グロー領域，グローアーク遷移領域でも放電できる高速高電圧電源を設計し，新たに開発したプラズマビームによるサブミリサイズの精密溶接の特性を紹介する．