超音波接合におけるAlリボン接合界面の進展挙動

抄録

超音波接合はパワーエレクトロニクス実装における配線部に用いられる接合技術であり，高い信頼性が要求される．本研究では超音波接合におけるAlリボン接合界面の進展挙動を研究した．接合の進展は界面中央部から強い接合力を持つ凝着領域が局所的に生成され，しだいに拡大していくことがわかった．