最近の研究と技術
TEM内その場変形トモグラフィー観察システムの開発
2019 年 54 巻 1 号 p. 44-48
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2019 年 54 巻 1 号 p. 44-48
試料に応力を加えつつ電子線トモグラフィー観察が行えるシステムを開発した．その場変形トモグラフィー試料ホルダー，透過電子顕微鏡本体および撮像用カメラを統合制御し，試料に一定応力を加えたまま一定速度で傾斜しつつ連続傾斜像を高速収録する．この一連の作業を繰り返し，得られた連続傾斜像から三次元（3D）画像を再構成して収録順に出力することで，3D動画像を得る．Pb–Snはんだ合金への適用例を紹介する．
