電子顕微鏡
Print ISSN : 0417-0326
電子線ホログラフィーによるp-n接合の観察
佐々木 勝寛, 王 洲光, 平山 司, 薮内 康文, 阪 公恭
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キーワード: 平均内部電位分布, 化合物半導体, 表面空乏層, 表面ダメージ層, 集束イオンビーム加工
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2003 年 38 巻 3 号 p. 216-218

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