抄録
テトラメチルシラン (TMS) のプラズマ重合におけるアルゴン (Ar), 酸素 (O2) およびテトラフルオロメタン (CF4) を混合した影響を検討した. TMS/Ar, 特にTMS/O2系から析出したポリマーはTMSからのポリマーに比べ炭素と水素元素の含量が減少し, 酸素が多くなる. 析出したポリマーはCH3, CH2基が減少し, SiO基が増加する. 一方, CF4を混合すると, 析出したポリマー中にフッ素を含み, ケイ素成分が減少する. ついにはTMS/CF4=1/1で, 析出したポリマー中にケイ素が含まれなくなる. これらの影響は臨界表面エネルギーに反映している. ガスの混合によって析出したポリマーの表面エネルギーの分散項が減り, 極性項の表面エネルギーが増加した. また析出したポリマー表面の硬度もTMSの3H (鉛筆硬度) から6H以上まで改良された. しかし, 熱安定性はTMSからのポリマーと比べ, ガスの混合によって悪くなる. 以上の結果は, TMSからのポリマーの性質はArおよびO2の混合によって, 大幅に変えることができることを示唆している.
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