プラズマ重合処理再現性の赤外およびX線光電子分光法による評価
1981 年 38 巻 10 号 p. 687-692
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1981 年 38 巻 10 号 p. 687-692
反応条件設定の容易なRF誘導型反応器を用いテトラメチルジシロキサン, 四フッ化エチレン (TFE) プラズマ重合を行いポリマー化学構造の電力依存性や反応器壁基材依存性について赤外, X線光電子分光法 (ESCA) により知見を得, プラズマ重合再現性評価法としての有効性に関し検討した. KBrなどの粉末を基材として用い, 反応後錠剤化し赤外スペクトルを測定, 前者シロキサンポリマー中のメチル基/シロキサン結合吸収強度比から電力50W以上でメチル基の減少が止まり, Si-C結合生成も盛んとなることが示され, TFEプラズマではガラスからの六フッ化ケイ素塩生成が確かめられ, また有機フッ化ケイ素塩生成も示唆され, プラズマのエッチング能や分解反応を反映することが明らかとなった. ESCA C1sピーク成分分解によればポリマー構造の主変化は中間電力領域20～60Wで起こり, 必ずしもプラズマの性質変化と平行していないことが明らかにされた.
