まてりあ
Online ISSN : 1884-5843
Print ISSN : 1340-2625
ISSN-L : 1340-2625
気相プロセスによる立方晶窒化ほう素薄膜の堆積
津田 統, 一木 隆範, 吉田 豊信
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1994 年 33 巻 9 号 p. 1168-1177

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