まてりあ
Online ISSN : 1884-5843
Print ISSN : 1340-2625
イオンビームデポジション (IBD) 法による高純度金属薄膜作製技術の開発
大橋 健也, 三宅 潔, 峯村 哲郎, 大橋 鉄也, 伊藤 修
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34 巻 (1995) 6 号 p. 786-788

DOI https://doi.org/10.2320/materia.34.786
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